抛光级黑碳化硅呈黑色,性脆而锋利,并具有较好的导热性和导电性。微观形状呈六方晶体,碳化硅的莫氏硬度为9.2,威氏显微密硬度为3000--3300kg/mm2,努普硬度为2670--2815kg/mm,显微硬度3300kg/mm3。在磨料中高于刚玉而仅次于金刚石、立方氮化硼和碳化硼。
抛光级黑碳化硅的抛光方法:
1、超声波抛光:将工件放入黑碳化硅悬浮液中并一起置于超声波场中,依靠超声波的振荡作用,使得它在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小,不会引起工件变形,但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上,再施加超声波振动搅拌溶液,使工件表面溶解产物脱离,表面附近的腐蚀或电解质均匀;超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程,利于表面光亮化。
2、电解抛光:电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,使表面光滑。与化学抛光相比,可以消除阴极反应的影响,效果较好。电化学抛光过程分宏观整平,微观整平。
3、流体抛光:流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有:金刚砂喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动,使携带磨粒的液体介质通过喷砂枪高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物并掺上黑碳化硅制成,可采用它的碳化硅粉末。
4、化学抛光:化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解,从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备,可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件,效率高。化学抛光的核心问题是抛光液的配制。
5、机械抛光:机械抛光是靠切削材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法,一般使用油石条、羊毛轮、砂纸,砂带,尼龙轮等,磨光片以手工操作为主,特殊零件如回转体表面,可使用转台等辅助工具,表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。
6、磁研磨抛光:磁研磨抛光是利用磁性黑碳化硅在磁场作用下形成黑碳化硅刷,磨光片对工件磨削加工。这种方法加工效率高,质量好,加工条件容易控制,工作条件好。采用合适的,表面粗糙度可以达到。